实际生产中微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更全面、更真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此便携式三维形貌仪的测量就越显重要。通过对三维形貌的测量可以比较全面地评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过指导加工、优化加工工艺以加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。
便携式三维形貌仪适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值，交互缩放，X-Y和线段剖面，三维线路、混合和固定绘图，用于阶越高度测量的地区差异绘图。
便携式三维形貌仪的几大校准方法：
1、三维形貌校准：这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关，所以称为三维校准。主要包括对干涉物镜参考面形貌误差的标定；以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。
2、二维光强校准：这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。设备有一些功能，可以增强用户对样品表面观察效果。比如在某观测模式下，可以自动去除视场中黑白条纹，更清楚地观测表面纹理；真彩模式可以复现表面彩色信息。
由于以上功能相关标定都只涉及“光强”，不涉及到形貌高度，所以称为二维光强校准。
3、横向校准：这一校准是为了标定在当前设置下，每个像素在横向上代表的尺寸大小。
