冷镜式精密露点仪不同水份含量的气体在不同温度下的镜面上会结露。采用光电检测技术，检测出露层并测量结露时的温度，直接显示露点。镜面制冷的方法有：半导体制冷、液氮制冷和高压空气制冷。采用的是直接测量方法，在保证检露准确、镜面制冷率和精密测量结露温度前提下，该种露点仪可作为标准露点仪使用。
冷镜式精密露点仪露点测量中需注意的问题：
露点仪通常在大气环境下存放和使用，由于环境空气中的水分含量*，可达数千到数万×10-6 V/V（体积分数），从而给露点测量操作造成了很大的困难，使得露点测量结果往往发散性比较大。要使测量数据准确可靠，除了保证仪器具有良好的性能外，还必须注意下面几个问题：
（1）气路系统应具有良好的密封性，以防止外界环境空气中的水分渗入气路系统中，影响测量结果；
（2）如果被测气体将直接排入大气，则应考虑大气中的较高含量水分在浓差作用下向测量系统内部反向扩散的问题。常用的方法为在仪器排放口连接一段适当长度的管子，其长度和管径以不会造成背压，影响测量腔的压力为准；
（3）测量取样管路应尽量短，并避免在管路上有较多的阀门和接头以避免造成死角，从而减少可能的干扰；
（4）所使用的管道和测量腔室应选用憎水性强的材料，不锈钢是较好的选择，其次为聚四氟乙烯、铜和聚乙烯等，应尽量避免使用尼龙或橡胶材质的管道进行露点测量。此外，管道和腔室内壁应尽量保证光洁干净。
