痕量气体是大气中浓度低于10E-6的粒种，比如洁净大气中稳定的痕量气体有氦、氪、氙等；不稳定的有二氧化碳、氧化亚氮、甲烷、氢和臭氧；很不稳定的有一氧化碳、二氧化氮、二氧化硫、硫化氢和水蒸气等。它们参与大气化学循环，在大气中的滞留期为几天至几十年，甚至更长。它们中有一些是天然排放的，但有一部分是由于人类活动大量排放了各种痕量粒种，这些痕量粒种受到各种物理、化学、生物、地球过程的作用并参与生物地球化学的循环，对全球大气环境及生态造成了重大影响。
痕量气体在线分析仪用一束红外光透过检测室射入检测器，测量过程中通过切换电磁阀将采用气体和参比气体切换通入检测室。测量样气和参比气体使用相同的气体（例如零点气体）时，无法产生调制信号，因此不会产生漂移，解决了 痕量气体分析中的零点漂移宜问题。而且使用双光路检测气室，以相反的相位导入测量样气和参比气体，可实现了长期安定稳定运行，无需光学调整。
一般情况下，作为工业用气体使用的氧气，氮气是通过空气分离来制造的。首先将除去水分和CO2的原料空气通入分离装置，分离装置时利用氮气、氩气和氧气三者气体的沸点不同进行分离出不同气体。氢气和氦气也是利用类似的气体分离装置制备。GA-370测量实例。高纯度氮气、氩气、氧气制造行业痕量气体的测定。除去水分、CO2后原料气体中痕量气体的测量。
