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D634-341C伺服阀：
电液伺服阀的输出流量或压力是由输入的电信号控制的，主要用于高速闭环液压系统中，用以实现位置、速度和力的控制等；而比例阀多用于响应速度相对较低的开环控制系统中。伺服阀具有精度高、响应快等优点，但其价格也较高，对过滤精度的要求也很高。目前，伺服阀广泛应用于高精度控制的自动控制设备中。
电液伺服阀多为两级阀，有压力型伺服阀和流量型伺服阀之分，绝大部分伺服阀为流量型伺服阀。在流量型伺服阀中，要求主阀芯的位移XP与它的输入电流信号l成正比，为了保证主阀芯的定位控制，主阀和先导阀之间设有位置负反馈，位置反馈的形式主要有直接位置反馈和位置力反馈两种。
直接位置反馈型电液伺服阀
直接位置反馈型电液伺服阀的主阀芯与先导阀芯构成直接位置比较和反馈，其工作原理如图1所示。先导阀由动圈式力马达的线圈驱动，先导阀芯的位移x心与输入电流I大小成比例，其运动方向与电流的方向保持一致。先导阀芯的直径小，无法控制系统中的大流量；主阀芯的阻力很大，力马达的推力叉不足以驱动主阀芯。其解决的办法是，先用力马达驱动直径较小的先导阀芯，然后用直接位置反馈（位置随动）的办法让主阀芯等量跟随先导阀运动，以达到用小信号控制系统中的大流量的目的。
可将主阀芯两端的容腔看做一个驱动主阀芯的对称双作用液压缸，该缸由先导阀供油，以控制主阀芯作上下运动。先导阀芯直径较小，为了较低加工难度，通常用两个固定的节流孔代替先导阀上用于控制主阀芯上下两腔的进油阀口。为了实现直接位置反馈，将主阀芯、驱动液压缸、先导阀阀套三者做成一体，因此主阀芯的位移xP（被控位移）被反馈到先导阀上，且与先导阀套的位移x套相等。当先导阀芯在力马达的驱动下向上运动而产生位移x心时，先导阀芯与阀套之间产生的开口量为x心-x套，此时，主阀芯上腔的回油口打开，压力差驱动主阀芯自下而上运动，同时先导阀口在反馈的作用下逐渐关小。当导阀口*关闭时，主阀停止运动且主阀芯的位移xp=x套=x心。反向运动亦然。在这种反馈中，主阀芯等量跟随先导阀运动，故称为直接位置反馈。
图2(a)所示为DY系列直接位置反馈型电液伺服阀的结构图。上部为动圈式力马达，下部是两级滑阀装置。液压油由P口进入，A、B口接执行元件，T口接回油。由线圈(动圈)7带动的先导阀6与空心主滑阀4的内孔配合，动圈与先导阀之间为固定连接，并用两个弹簧8、9定位对中。先导阀上的两条控制边与主滑阀上的两个横向孔形成两个可变节流口儿、12。由P口来的液压油除流经主控油路外，还要流经固定节流口3、5和可变节流口儿、12，先导阀的环形槽和主滑阀中部的横向孔至回油口的油路，形成前置液压放大器的油路[见图2(b)]。显然，前置级液压放大器是由具有两个可变节流口11、12和固定节流口3、5组合而成的。油路中固定节流口与可变节流口的连接节点a、b分别与主滑阀上、下两个台肩的端面连通，主滑阀可在节点处液流压力的作用下运动；当达到平衡位置时，节点a、b的压力相同，主滑阀保持不动。如果先导阀在线圈的作用下向上运动，节流口11加大、12减小，a点压力降低，b点压力上升，主滑阀随之向上运动。
由于主滑阀又兼作先导阀的阀套（位置反馈），故当主滑阀向上移动的距离与先导阀一致时，停止运动。同样，在先导阀向下运动时，主滑阀也随之向下移动相同的距离。所以称其为直接位置反馈系统。
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