ICPMS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体(ICP)，而质谱学家则认为ICPMS是一个以ICP为源的质谱仪。事实上，ICP-AES和ICPMS的进样部分及等离子体是及其相似的。ICP-AES测量的是光学光谱(165～800nm)，ICPMS测量的是离子质谱，提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位(amu)的信息，因此，ICPMS除了元素含量测定外，还可测量同位素。
ICPMS的检出限给人极深刻的印象，其溶液的检出限大部份为ppt级(必需记牢，实际的检出限不可能优于你实验室的清洁条件)，石墨炉AAS的检出限为亚ppb级，ICP-AES大部份元素的检出限为1～10ppb，一些元素在洁净的试样中也可得到令人注目的亚ppb级的检出限。
ICPMS的ppt级检出限是针对溶液中溶解物质很少的单纯溶液而言的，若涉及固体中浓度的检出限，由于ICPMS的耐盐量较差，ICPMS检出限的优点会变差多达50倍，一些普通的轻元素(如S、Ca、Fe、K、Se)在ICPMS中有严重的干扰，也将恶化其检出限。
AAS是原子吸收光谱，因为只利用原子光谱中单色光照射，所以只能检测一种元素的含量，不过检测限比较低而且重现性比较好.ICP-AES是原子发射光谱，检测原子光谱中的多条谱线.检测限也比较低，而且多通道的可以同时检测多种原子和离子.比较方便.重现性也不错.ICPMS是ICP质谱联用.利用质谱检测同位素含量来检测元素的含量.检出限低.效果理想。
以上三种技术呈现了不同类型及复杂的干扰问题，为此，我们对每个技术分别予以讨论。
ICPMS的干扰:质谱干扰、基体酸干扰、双电荷离子干扰、基体效应、电离干扰、空间电荷效应。
ICP-AES干扰：光谱干扰、基体效应、电离干扰。
GFAAS干扰：光谱干扰、背景干扰、气相干扰、基体效应。
