石英亚沸高纯水蒸馏器由提纯器、石英储水瓶和仪器工作架三部分组成。在提纯过程中因冷凝空间温度高可制取无菌无热超纯水，加热丝封闭在壳体内，接受水又不接触空气，整个提纯过程不受环境污染。仪器为园筒形，卧式标准磨口全封闭石英玻璃仪器系统。
石英亚沸高纯水蒸馏器是利用热辐射原理，保持液相温度低于沸点温度蒸发冷凝而制取高纯水和高纯试剂。而一般的石英蒸馏器，因沸腾蒸馏，气中夹带水珠，气液分离不*，致使水质不高；全玻璃蒸馏器，更因玻璃本身所含的污染，水质更差；离子交换水，又因有机物质的溶解带入有机物的干扰。石英亚沸蒸馏水器既避免了玻璃杂质的污染，又因液相温度低于沸点。不致因沸腾而在蒸气中夹带水珠。既气液分离*，因此水质高。可以满足各种特殊分析用水，广泛用于各大中院校、科研单位、实验室制备高纯度分析用水。
设备的清洗步骤：
1、本蒸留器工作时间长了，会产生水垢，被蒸水是去离子交换水，这样可以减少清洗次数。结水垢后可用50%HN03灌进横式烧瓶内至结垢处，浸泡4～6小时由排水口排出，再用自来水冲洗3次，用去离子水冲洗3次即可重新使用。
2、如长期使用结垢严重或因加化学试剂提纯(如高锰酸钾等)产生污染，可用20%HF浸泡处理。但时间不宜长，视蒸馏器光亮为准，浸泡后以去离子水冲洗，平衡纯化。
