对测量仪精度评定或实施误差修正，要以坐标测量机固有误差的模型为基础，其中，必须给出各误差项的定义，分析，传递及误差合成后的总误差。所谓的总误差，在测量仪的精度检定中，是指反映坐标测量机精度特性的综合误差，即指示精度，重复精度等：在测量仪的误差修正技术中，则是指空间点的矢量误差。
一、机构误差分析：
测量仪的机构特征，导轨对被它引导的部件限制五个自由度，测量系统控制运动方向上的第六个自由度，因此导向部件在空间的位置，由导轨及其所属的测量系统确定。
二、测头误差分析：
三坐标测量仪的测头分为两种：接触式测头按其结构又分为开关式和扫描式两大类。开关式测头的误差由开关行程，测头各向异性，开关行程分散性，复位死区等引起。扫描式测头的误差由测力一位移关系，位移一位移关系，交叉耦合干扰等引起。
测头的开关行程为测头与工件接触至测头发讯，测头所偏摆的一段距离。这是测头的系统误差。测头的各向异性是开关行程在各个方向上的不一致性。它是系统误差，但通常作随机误差处理。开关行程的分解性指重复测量时开关行程的离散程度。实际测量时，以某一方向开关行程的标准偏差计算。
