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美国TEM-115-16滤波器使用注意事项

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2021/11/18 14:16:08

美国TEM-115-16滤波器是专门设计的用于半导体级过滤惰性气体和CDA(清洁干燥空气)。这是全焊接的组件将提供0.003微米的颗粒保留需要高流速且空间有限的地方。聚四氟乙烯膜和聚丙烯支撑滤芯封装在316L不锈钢电抛光焊接外壳中。最后的装配用清洗剂清洗用于初始清洁度的过滤氮气。提供多种配件类型,便于安装。

美国TEM-115-16滤波器使用注意事项如下:

板上滤波器虽然对高频的滤波效果不理想,但是如果应用得当,可以满足大部分民用产品电磁兼容的要求。在使用时要注意以下事项:
如果决定使用板上滤波器,在布线时就要注意在电缆端口处留出一块“干净地”,滤波器和连接器都安装在“干净地”上。通过前面的讨论,可知信号地线上的干扰是十分严重的。如果直接将电缆的滤波电容连接到这种地线上,会造成严重的共模辐射问题。为了取得较好的滤波效果,必须准备一块干净地。并与信号地只能在一点连接起来,这个流通点称为“桥”,所有信号线都从桥上通过,以减小信号环路面积。
并排设置:同一组电缆内的所有导线的未滤波部分在—起,已滤波部分在一起。否则,一根导线的耒滤波部分会将另一根导线的已滤波部分重新污染9使电缆整体滤波失效。
靠近电缆:滤波器与面板之间的导线的距离应尽量短。必要时,使用金属板遮挡一下,隔离近场干扰。
与机箱接:安装滤波器的干诤地要与金属机箱可靠地搭接起来,如果机箱不是金属的,就在线路板下方设置一块较大的金属板来作为滤波地。干净地与金属机箱之间的搭接要保证很低的射频阻抗。如有必要,可以使用电磁密封衬垫搭接,增加搭接面积,减小射频阻抗。
接地线短:考虑到引脚的电感效应,其重要性前面已讨论,滤波器的局部布线和设计线路板与机箱(金属板)的连接结构时要特别注意。

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美国TEM-115-16滤波器产品应用如下:

一般和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器等高纯度应用。

•用于关键平板工艺的气体,包括衬底退火。

•关键工艺的清洁干燥空气(CDA*)包括前开口统一吊舱(FOUP)清洁和光刻。

规格

•3nm过滤器额定值我们的多孔PTFE过滤器提供高效的颗粒过滤器0.003μm时的保留效率。

•高工作温度惰性气体中的温度为80℃(176℉)。关于CDA,请咨询Porvair,以获得建议60°C(140°F)以上应用中的过滤器寿命。

•最大工作压力在20°C(68°F)下为17.2bar(250psig)。


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