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清洁度分析仪的分析原理：

　　紫外线照射后产生的荧光是一种特殊形态的冷光。当荧光分析的电子吸收了光子后能量提高，可是这种状态并不是非常稳定，它会马上变回初始状态然后还会将吸收的能量再次释放出来，发出荧光。

　　因为部分能量转化成热量消耗了，从而发出的光线能量降低，波长也变长了。因为玷污物的荧光特性，通过一个含紫外光波的LED灯照射，清洁度分析仪也就可以探测出玷污物。仪器探头里的光电二极管负责测量UV荧光的强度。UV荧光越强表示污染程度越大，相反就会越洁净。

　　对于平常清洁过程当中的玷污物，清洁度分析仪的参数已经设计得尽可能合适。对于特殊的检验要求，它也可能适合LED的波长。

　　因为有机物被UV光激发后具有很强的自体荧光特性，所以仪器可以检查出油、油脂还有残余表面活性剂的玷污物。除此之外，它也可能用于检查腐蚀或者已知厚度的蜡层。

　　清洁度分析仪的测量原理是共焦法，也就是激发光线还有被激发而产生的光线在同一平行辐射轨迹上。所以，探头的灵活定位还有在线测量都容易实现。基于这种测试原理，对于构成中不含或者含有轻微荧光性原料的零件，仪器都能够检测其清洁度。