1、对真空泵保持定期检查是很重要的。真空泵损坏往往是从局部或某个零件开始，所以要定期检查泵体内表面磨损情况、各部件磨损情况。
2、用温度计检查泵各部位温度。
3、用功率表或电流，电压表测量电动机负荷。
4、活塞环及活塞环衬套是否磨损。
5、齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整。
6、真空泵置放的环境应该具有充分良好的通风条件。
7、全部装好后须进行检漏。重装后须进行试运转和必要的性能测试，待正常后才能安装使用。
除了日常维护，选择一款质量好的真空泵，省时省心省力，会达到事半功倍的效果。
日本坚山KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有*的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。
面对未来日趋多元化的市场需求，KASHIYAMA工业将继续秉承为客户开发创造的精神，不断创新。
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