1.气体的浓差问题
在我们的周围环境中,充满了高氧和水蒸气.大气中的氧是21% ,水蒸气大约是在1-2%左右,它们是以气态形式混杂在大气中。我们知道,在混合气体中，每个气体都有它一定的分压。系统中被测的氧和水是极低的.通常只有几个PPb几个PPm-几十PPn.这样它们就与系统外的氧和水之间存在着- -- 个很大的浓度差(或分压差),尽管系统内的载气压力很高,但是由于氧和水蒸气的浓度差还是系统外高于系统内,如果系统和管道中的密封性能不好,哪怕一点点的微漏，由于气体浓差的存在.就会有一个慢渗漏的问题,必须引起注意。
2.系统有吸附问题
任何物质对不同的材料都有一种吸附现象氧分子和水分子的吸附能力就更强.这种吸附与容器表面积和光洁度有关,表面积越小，光洁度越高吸附就越小,反之就越大。对一个净化的容器和系统来说,内壁应尽可能光滑,不要有死角，管道要尽可能短.要用致密的材料,最好用不锈钢管。系统在正式使用和测量之前,要有足够的时间进行吹扫.一般需要二三天吹扫，视吹扫流量的大小而定。
1.3露点仪的精度问题
对净化气体中的微量水,大多数的用户都喜欢用露点(DP)来表示,也有少数用户喜欢用PPm来表示,这二者之间并不是线性关系。为了能直接显示露点值(DP),仪器要经过线性化处理。
