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微石microstone无无线振动数据记录仪晶圆震动仪晶圆振动计

深圳市安川测量仪器有限公司 >> 进入商铺

2022/3/1 14:28:51

microstone微石无无线振动数据记录仪距离100m实时测量

无线通讯距离“100m”!可以实时测量、记录测量、根据情况进行测量!

因为它是 920MHz 频段的无线,所以您可以测量而无需担心障碍物!

实时测量中最快 2msec (500Hz) 和测井测量中最快 0.05msec (20kHz) 的采样是可能的!!!

小巧便携!内置内存也安装在W45 x D45 x H18 mm的手掌大小!

支持测量时触发输入!可以将正在测量的点牢固地保存为数据。

通过附件轻松安装通过使用使用强钕磁铁的附件,可以轻松地将其固定到机器上。(选项)

它只有手掌大小,可以安装在任何地方!与传统传感器尺寸相同

应用示例

  1. 皮带输送机等运输过程中的冲击测量,运输缺陷的识别

    • 只需将其放在皮带输送机上,让它保持原样流动,您就可以检查产生冲击的重要点。

  2. 通过对机器人手臂和旋转部件等运动部件的振动测量和振动水平判断进行出货判断

    • 因为它是无线的,所以可以测量移动部件。您不必考虑接线的影响。

  3. 对于从未到达的天花板和腹地

    • 由于无线通信距离可达 100 m,因此可以在过去无法测量的地方进行测量。

  4. 通过泵和电机等驱动部件的振动测量进行疲劳判断,预防性维护

    • 通过定期测量驱动单元的振动,可以在机器损坏之前知道维护的时机。

MVP-RF6L 手掌大小

半导体晶片和玻璃面板传送过程中的振动状态测量

1. 1. 测量条件

  • 使用的测量仪器

  • 高速3通道无线振动记录仪MVP-RF3-HC

  • 测量对象

  • LCD用玻璃面板

  • 尺寸

  • 约 1.5m x 1.9m x 1.8mm

  • 测量位置

  • 将记录仪固定在玻璃基板中心附近

  • 固定方法

  • 胶布胶带

  • 运输方向

  • Z轴方向(面板垂直方向)

2. 2. 加速度波形(振动波形)测量数据

我们测量了从晶片移动开始到静止的加速度数据。
高速3通道无线振动记录仪内置3轴加速度计,可同时测量3个方向的加速度值。

<最大加速度>

<讨论>

  1. 在该载体中,开始移动时和停止时的加速度(振动)较大。

  2. 运输过程中加速度小。

  3. 施加于运动的加速度(振动)较大。

  4. 施加加速度(振动)的方向在Z轴方向(板厚方向)上最大。

  5. 最大加速度(振动)约为9.8m/sec^2(约1.0G)

3. 3. FFT分析

<FFT分析条件>

将上述“加速度波形数据”中的“开始移动”时的数据(0~1秒)切出进行分析。

<FFT分析结果>

<讨论>

  1. Z轴方向(板厚方向)的50Hz附近有光谱峰。
    → 是面板的固有振动频率吗?

  2. 如果设备运行中存在50Hz附近的频率成分,则极有可能会因为共振的影响而损坏面板,推测成品率会下降。


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