高纯电子化学品洁净度判定方法

高纯电子化学品是大规模和超大规模集成电路 ( IC)制作过程中的关键性基础化工材料，在清洗、光刻 、蚀刻和去胶等许多工序都要使用，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率 、电性能及可靠性有着十分重要的影响。由于半导体元件越来越小，集成度越来越高 ,超大规模集成电路可在 30 mm ×30 mm 的芯片上集成上千万个元件，工艺技术的精密度非常高，而且IC产品更新换代速度极 快 ，三年即为一代，也就是说一代IC制作技术需要一代的高纯电子化学品与之配套 ,因此对高纯电子化学品质量要求越来越高。

PMT-2液体颗粒计数器采用英国普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器，双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统，可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线或离线颗粒监测和分析，目前是英国普洛帝分析测试集团向水质领域及微纳米检测领域的重要产品。

PMT-2液体颗粒计数器有在线和离线两种模式，可以对高纯电子化学品的洁净度进行判定。