电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多，四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便，精确度高，对样品的形状无严格要求。
四探针电阻测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）。适用于生产企业、高等院校、科研部门，实验室；是检验和分析导体材料和半导体材料质量的工具。可配置不同测量装置测试不同类型材料之电阻率。液晶显示，温度补偿功能，自动量程，自动测量电阻，电阻率，电导率数据。恒流源输出；选配：PC软件过程数据处理和标准电阻校准仪器，薄膜按键操作简单，中文或英文两种语言界面选择。
四探针电阻测试仪需要注意的一些事项：
1、仪器操作前请您仔细阅读使用说明书，规范操作
2、轻拿轻放，避免仪器震动，水平放置，垂直测量
3、仪器不使用时请切断电源，连接线无需经常拔下，避免灰尘进入航空插引起短接等现象
4、探针笔测试结束，套好护套，避免人为断针。
