真空泵用真空计在压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。
真空泵用真空计的测量范围:
任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105~10-14pa),没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但由于各种真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。由上观之,为改善真空计性能及提高真空测量准确度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。
真空泵用真空计的选择原则:
1、在要求的压力区域内有要求的精度。
2、被测气体是否会损伤真空计;真空计可否会给被测气体状态带来影响。
3、能测全压力吗?可校准吗?灵敏度与气体种类有关否。
4、可否连续指示、电气指示以及反应时间长短。
5、稳定性、复现性、可靠性和寿命如何。
6、要看真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格如何。