主动隔振台是一款紧凑型模块化的主动减震系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界的主动隔振性能（从0.5Hz开始）。平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。
工作原理：
通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。
主动隔振台采用隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。
性能优势：
1、系统主动检测输入振动并动态消除；
2、六个空间方向的自由隔振；
3、系统内部反馈回路抑制所有机械共振；
4、低频隔振性能；
5、无低频共振、无空气要求。
