小流量测量分两种情况，一种是以较高的精度测量流过细小管道的气体或液体；另一种是测量流量非常缓慢的流体的流量。适合用来测量微小流量的常用气体流量计有很多种，例如差压式、浮子式、旋涡式、热式等，其中有些气体流量计既适合测量中、大流量，也适合测量微小流量，而另一些专门为测量微小流量而设计。
1、差压式流量计。适合测量小流量的差压式流量计主要是内藏孔板差压式流量计。这种流量计同由标准节流装置为传感器的流量计有几点显著的差别。第一个差别是结构上，内藏孔板是传感器与变送器合为一体。第二个差别是管径，内藏孔板适用的管径均小于50mm，典型的管道内径为10mm和20mm。第三个差别是精度，内藏孔板可通过实流标定的方法来保证测量精度，经过实流标定能达到1.5级的精度。
2、浮子流量计。浮子流量计也可以称为转子流量计，按材料分类主要有玻璃管浮子流量计、金属管浮子流量计。浮子流量计依靠压损小，测量范围大的优势，变成了工业控制中常用的一种流量测量仪表，它不仅使用方便，还有兼容性强等优势。特别适宜低流速小流量的介质流量测量。浮子流量计具有结构简单、直观、压力损失小、维修方便等特点。浮子流量计适用于测量通过管道直径D<100mm的小流量，也可以测量腐蚀性介质的流量。
3、旋涡流量计。旋进旋涡气体流量计是应用强迫振动的旋进旋涡原理工作的，旋进旋涡气体流量计比同口径涡街流量计的流量下限要低很多，对测量小流量气体来讲，这是优势。旋进旋涡气体流量计具有工作温度范围宽；范围度大；在一定雷诺数范围内，不受流体温度、压力、密度和黏度影响；适应性强，除含有较大颗粒或较长纤维杂质外，一般不需装过滤器；对上下游直管段要求较低，取上游4D和下游2D直管段即可；输出频率同体积流量成线性关系等特点。
4、热式流量计。热式气体质量流量计的主要特点：直接测量质量流量无需温压补偿；非接触式，无活动部件，压力损失小，可靠性高；可测量低流速微小气体流量；要求气体介质干燥洁净，不含水分、油等杂质；插入式热式气体质量流量计同样适用于中、大口径气体流量的测量。
