半导体激光吸收光谱技术（DLAS）最早于20 世纪70年代提出。初期的 DLAS技术使用中远红外波长的铅盐激光器，这种激光器以及相应的中远红外光电传感器在当时只能工作在非常低的液氮甚至液氦温度下，从而限制了它在工业过程气体分析领域的应用，只是一种实验室研究用技术。随着半导体激光技术在20世纪80年代的迅速发展，DLAS技术开始被推广应用于大气研究、环境监测、医疗诊断和航空航天等领域。特别是20世纪90年代以来，基于DLAS技术的现场在线分析仪表已逐渐发展成熟，与非色散红外、电化学氧分析仪、色谱等传统工业过程分析仪表相比，具有可以实现现场原位测量、无须采样和样品处理系统、测量准确、响应迅速、维护量小等显著优势，在工业过程分析和污染源监测领域发挥着越来越重要的作用。
为了达到更高的测量精度，更低的探测下限，DLAS 技术在持续地发展。为了抑制噪声、提高精度，在调制技术方面从直接吸收光谱技术发展到波长调制光谱技术和频率调制光谱技术等;为了增加光束穿过被测气体的有效光程，降低探测下限，从单倍光程的测量方式发展到利用Herriott 腔、White 腔等实现多次往返吸收光谱;为了在光谱吸收较强的基带频率进行测量，降低测量下限，波长在中红外和远红外波段的量子级联半导体激光器被应用在各种 DLAS 技术中;另外也可以与光声检测技术结合产生激光光声光谱技术。
