ICP光源由高频电源和ICP矩管构成，而矩管的结构和特性对分析性能有更大的影响，是ICP光谱装置的核心构件。
作为ICP火焰形成的重要部分，ICP炬管是由三层同心石英管套接而成。三层石英管内通入工作气体，商品化的ICP光谱仪均通入氩气（当然实验装置有通入空气、N2、Ar-N2混合气、He等），外管由切线方向通入氩气，称为等离子气，形成等离子体能源（也称冷却气，它有冷却炬管的作用）。中间管通入氩气称为辅助气（也称为等离子气），起到托起ICP火焰的作用，防止等离子焰炬烧坏内管。内管通入氩气称为载气，它是将溶液试样经过雾化后的气溶胶载入ICP火焰。好的炬管必须有如下性能：
①容易点燃ICP火焰；
②产生持续、稳定的等离子体，引入试样对焰炬稳定性的影响轻微，无熄灭或形成沉积物的危险；
③样品经中心通道到分析观测区的量足够大；
④样品在等离子体中有较长的滞留时间并被充分加热；
⑤耗用的工作气体较节省；
⑥点燃ICP火焰所需功率尽量小；
⑦污染容易清洗，拆卸、安装简易方便。
