真空热压炉是在真空高压下制备致密化合物材料的理想工具，在5吨压力下可键合多层基片。炉子可以加热到1100℃并且30段程序控温。带水冷的法兰可使真空度达到10-5Torr（用分子泵）。真空热压炉广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理，也可在充气保护情况下热压成形烧结。
真空热压炉主要由炉体、炉门、加热与保温及测温系统、真空系统、充气系统、水冷系统、控制系统、液压系统等组成。真空热压炉为周期作业式，广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理，也可在充气保护情况下热压成形烧结。
炉体为立式炉壳，其内层为不锈钢制成的圆筒，外层为碳钢。炉体分为两部分，其中三分之一为炉盖可手动*侧开门，三分之二部分为固定炉体，设计*，便于操作。两层之间形成夹套可以通冷却水将传到炉壳上的热量带走，使炉壁温度不超过60℃，其上下法兰焊接为一个整体。中间开有红外测温孔（有保护气氛通气口），热电偶测温孔、抽气孔及观察孔，铂铑热电偶有到温自动退出装置，红外测温观察孔有玻璃气吹防雾装置，操作人员使用的观察孔设有挡板。
真空系统：由油扩散泵、罗茨泵、机械泵配电磁压差阀（防止因突然停电、机械泵油倒灌）充气阀、放气阀、真空蝶阀、真空压力表（±Pa）波纹管、真空管路和支架等组成。
液压系统：采用电动输入方式。由液压站配有进口比例阀、压力传感器、位移显示器采用光栅尺（测距精度0.02mm）、液压缸等相关液压装置，压力调节半自动化、可通过手动调节。仪表可设定自动调节压力，并能实现稳压、保压。
水冷系统：由各种阀管道相关装置组成且设有断水声光报警自动切断加热源或功能。
温控系统：采用可控硅控温，配置有PID功能仪表，数显表，具有超温声光报警功能，也可选用PLC触摸屏自动控制，并保留历史数据，便于分析烧结过程。
充气系统：由各种管道及阀门组成，并配有电磁放气阀、压力传感器，当炉内压力高于安全值时会自动放气，充气管路上装有针阀，可控制充气量
