T/ICMtia PC007-2021 集成电路用氢氟酸
范围
本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。
分子式: HF
相对分子质量: 20.01(按2014年国际相对原子质量)。
要求
性状
无色透明溶液，有挥发性，有刺激性气味。
规格
集成电路用氢氟酸的规格分为: IC-1级、IC-2级和IC-3级。
技术要求
集成电路用氢氟酸的技术要求见表1。
注: 1、可根据客户需求定制特殊规格产品；
2、1μg/L=1ppb=1000ppt，1mg/kg=1ppm。
试验方法
含量的测定
试剂和材料
——氢氧化钠溶液，1.00mol/L；
——带盖PE烧杯。
仪器
自动滴定仪。
样品制备
用移液枪或吸量管移取约0.5g(精确至0.0001g)的样品至预先装有60g左右水的带盖的PE烧杯中。
测定
按照自动滴定仪操作规程打开仪器，待机器处于稳定状态时，在自动滴定电脑界面上登入，选择方法及样品质量等信息后点击“开始”即可。分析结束后记录数据。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值不大于0.05%。
京都电子KEM 自动电位滴定仪 AT-710S
