美国TEM-250-24过滤器功能和优点
GasPro™ TEM-200系列滤波器设计用于3 nm颗粒截留率高达200 scfm，且温度高达80?C（176F）。ePTFE膜（1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撑结构封闭在
316L不锈钢外壳，具有的流动性和耐化学性。使用标准Vitono形圈（其他o形圈材料可在重新测试时获得）。
TEM-250-24过滤器应用
•一般和工艺惰性设施气体。
•关键工艺的清洁干燥空气（CDA*），包括
前开口统一吊舱（FOUP）清洁和光刻。
TEM-250-24过滤器规格
•过滤等级
我们的多孔ePTFE过滤器可提供有效的3 nm颗粒保留。
•高工作温度*80°C（176°F）。
建议更换：在69ºC（156ºF）以上运行6个月。
•大工作压力20°C（68°F）时为17.2 bar（250 psig）。
•大正向流量压差20ºC（68ºF）：6.0 bar（87 psi）
80ºC（176ºF）：4.0 bar（58 psi）
TEM-250-24过滤器功能和优点
•电抛光外壳
过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳，防止腐蚀和粒子在内表面上积聚。
•包装外清洁度
我们的GasPro™ 清洁TEM-200过滤器，并包装在无尘室内，不含有机物包装外、无颗粒和无化学品清洁度。终组装已清除使用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。
•多种配件选项，便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封，压缩、对焊和NPT。特殊配件，包括三夹钳（三叶草）卫生和法兰类型，可根据要求提供。
•氦泄漏测试
所有装置均以1x10-9 atm cc/s的速度进行测试。
美国TEM-311-24过滤器参数:
我们的多孔ePTFE过滤器提供有效的颗粒滞留3 nm。
高工作温度* 80°C(176°F)。 建议更换:在69C(156F)以上工作6个月。
大工作压力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。
大正向差压20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)
一般和工艺惰性设施气体，用于半导体，脂肪板显示和其他高纯度应用。 G酶用于关键的脂肪板工艺，包括衬底退火。 对于关键工艺，包括前开口统一吊舱(FOUP)清洗和光刻，采用稀薄干燥的空气。
TEM-200零件号和订购信息
零件号入口/出口配件过滤介质/外壳其他材料长度（L）
TEM-215-16 1.0“阳垫圈密封入口/出口
PTFE/316L不锈钢聚丙烯
氟橡胶®密封*658.4毫米（25.92英寸）
TEM-228-16 1.0“内螺纹NPT入口/出口640.1 mm（25.2”）
TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm（25.1”）
TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm（25.1”）
TEM-260-DN50法兰（详见图纸）643.1 mm（25.32”）
