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常见的电子工业用气体国家标准指标整理

北京希望世纪科技有限公司

2022/8/4 15:03:36

文章整理的电子工业用气体国标列表：

GBT 14604-2009 电子工业用气体 氧
GBT 16944-2009 电子工业用气体 氮
GBT 14601-2009 电子工业用气体 氨
GBT 16942-2009 电子工业用气体 氢
GBT 16945-2009 电子工业用气体 氩
GBT 16943-2009 电子工业用气体 氦
GBT 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢
SJT 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳
GBT 14600-2009 电子工业用气体 氧化亚氮
GBT 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷
GBT 31987-2015 电子工业用气体 锗烷
GBT 33774-2017 电子工业用气体 丙烯
GBT 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
GBT 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
GBT 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷

除以上资源外，“资源包”还含有以下国标：
GB∕T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
GBT 14603-2009 电子工业用气体 san氟化硼
GBT 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
GBT 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
GBT 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
GBT 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
GBT 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮
GBT 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
GBT 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
GBT 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
GBT 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
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※以上资料均来源于网络，经HORIBA整理。



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HORIBA用于电子工业用气体纯度/不纯物

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