T/ICMtia 4.1-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分 液体甲基丙烯酸酯类
范围
本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第1部分液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。
本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。
术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
氟化氩光刻胶
是指在氟化氩准分子激光器为曝光光源(波长193nm)的条件下，具有良好的光学透明性、较低的吸收、较高的热稳定性、较高的抗蚀刻性能的光刻胶。
光刻胶单体
是合成光刻胶树脂的前体物，其质量情况决定着成膜树脂的性能。
甲基丙烯酸酯类光刻胶单体
是指结构中均含有甲基丙烯酸酯基团的一类光刻胶单体。
气相色谱法
气液色谱法，又称气相层析。是一种在有机化学中对易于挥发而不发生分解的化合物进行分离与分析的色谱技术。
高效液相色谱法
高效液相色谱是以液体为流动相，采用高压输液系统，将具有不同极性的单一溶剂或不同比例的混合溶剂、缓冲液等流动相泵入装有固定相的色谱柱，在柱内各成分被分离后，进入检测器进行检测，从而实现对试样的分析。
凝胶渗透色谱法
也称为体积排除色谱、是一种液体(液相)色谱。是利用高分子溶液通过填充有特种凝胶的柱子，把聚合物分子按照尺寸大小进行分离的方法。
高聚物
高聚物是由一种或几种简单低分子化合物经聚合而组成的分子量很大的化合物，又称高分子或大分子等。高分子化合物中分子所含的原子数可达数万，甚至数十万，而低分子化合物分子的原子数不过几个，最多数百个。习惯上将分子量小于500的，称为低分子化合物，分子量大于5000 的称为高分子化合物。
低聚物
又称寡聚物，旧称齐聚物。指的是由较少的重复单元所组成的聚合物。其相对分子质量介于小分子和高分子之间。一般出现在逐步聚合反应的初期，此时众多具有可相互反应的官能团(如羧酸和醇)的单体彼此互相反应，生成了大量的二聚体、三聚体等，之后随着反应的继续，二聚体与三聚体之间再逐步反应生成高分子。
所用英文或字母缩写释义
ppm 即百万分之一。
表达溶液浓度时，1ppm即为1μg/mL，表达固体中成分含量时，1ppm 即为1μg/g。
ppb 即十亿分之一。
表达溶液浓度时，1ppb即为1×10-3μg/mL，表达固体中成分含量时，1ppb即为1×10-3μg/g。
NMP N-甲基吡咯烷酮
IPA 异丙醇
产品类型和结构
性状与结构
本系列产品为无色透明液体，结构中均含有甲基丙烯酸酯的结构，该结构在引发剂的作用下进行聚合，从而形成甲基丙烯酸酯共聚物。
产品类型
技术规格及指标
分析检测方法
水分
按 GB/T 6283 化工产品中水分含量的测定卡尔·费休法(通用方法)的规定执行。
GB/T 6283-2008 化工产品中水分含量的测定 卡尔·费休法(通用方法)
酸值
按 GB/T 2895 塑料聚酯树脂部分酸值和总酸值的测定执行。
GB/T 2895-2008 塑料 聚酯树脂 部分酸值和总酸值的测定
京都电子KEM 卡尔·费休水分测定仪 MKV-710B
京都电子KEM 四通道自动电位滴定仪 AT-710M
