电感耦合等离子体发射光谱仪主要由进样系统、激发光源、分光系统、检测器、控制与数据处理系统五部分组成。
由于进行是精密计算，仪器必须在维护保养方面下功夫。
1 环境
仪器要求一般室温维持在 20～25 摄氏度之间的一个固定温度，温度变化应小于±1 摄氏度。室内湿度应小于 70%，好控制在 45%~60%之间，并配有空气净化装置。
2 供电线路
为了保证ICP 仪的安全运行，供电线路必须要有足够大的容量，否则仪器运行时线路的电压将过大，影响仪器寿命。
3 防尘
实验室内需要采用排风机，排除仪器的热量及工作时产生的有毒气 体时，实验室与外部就形成压力差， 实验室产生负压，室外含有大量灰尘的空气从门窗的缝隙中流入室内，大量积聚在仪器的各个部位上，容易造成高压组件或接头打火，电路板及接线、插座等短路、漏电等各种各样的故障，因此，需要经常进行除尘。特别是计算机、电子控制电路、高频发生器、显示器、打印机、磁盘驱动器等，定期拆卸或打开， 用小毛刷清扫，并同时使用吸尘器将各个部分的积尘吸除。对光电倍增管负高压电源线、及计算机显示器的高压线及接头，还要用纱布沾上少许*小心的抹除积炭和灰尘。磁盘驱动器及打印机清出灰尘之后，要在机械活动部件滴加少许仪表油。打印机的打印头还要拆下，用软毛刷刷扫，并用绒布抹净，防止针孔被纸屑堵塞，然后按照说明书调整一定的打印压力。对于仪器除尘，一般由电子，仪修或计算机的专业人员帮助，仪器使用或管理人员如不懂电子知识，不了解仪器结构，不要轻易触动，以免发生意外，除尘应事先停机并关掉供电电源后再进行。
4 雾化器的维护
雾化器是进样系统中脆弱，关键的部份，需要很好的维护和使用。要定期的清理，特别是测定高盐溶液之后，雾化器的顶部，炬管喷嘴会积有盐份，造成气溶胶通道不畅，常常反映出来的是测定强度下降，仪器反射功率升高等。炬管上积尘或积炭都会影响点燃等离子体焰炬和保持稳定，也影响反射功率，因此，要定期用酸洗，水洗，后，用无水乙醇润洗并吹干，并保持进样系统及炬管的清洁。
5 使用中尽量减少开停机的次数
开机测定前，必须做好安排，事先做好各项准备工作，切忌在同一段时间里频繁开启，仪器频繁开启容易造成损坏，这是因为仪器在每次开启的时候，瞬时电流大大高于运行正常时的电流，瞬时的脉冲冲击，容易造成功率管、真空电容以及其他芯片的损伤。
