工业测量显微镜多用于观察非透明的样品，因此主要采用反射照明，主机机身上搭载有反射照明器。观察方式主要包括：明视场、暗视场、微分干涉、偏光、荧光等。
工业测量显微镜的使用方法：
1、根据物体颜色，选择工作台黑、白其中之—面，将所需观察的物体放在工作台上。
2、选择适当的放大倍率，换上所需的目镜(10×或20×)。如在80倍以下观察，则可卸下2×大物镜，其有效工作距离为85mm，如加2×大物镜，放大倍率可达160×，则有效工作距离为25mm，调节工作距离，可以松开锁紧手轮7，并拉出或压入活动支柱6来达到。
3、操作时，将物体移至工作台中心位置。转动升降手轮，使左面目镜能看到消晰的物象。如右面目镜的象不清晰，则可以转动目镜调焦环，使之得到与左面目镜同样清晰的物象。这样就看到了具有立体感的清晰的物象。这样，调焦工作就基本完成。
为得到道当的放大倍串，则可拨动转盘，改变变倍物镜的放大倍率来达到。变倍物镇的放大倍率可以在读数圈上读出。在必要时，可调节直角棱镜组，改变目镜问的距离，以适合观察者的双眼距离进行观察。松开制紧螺丝，可以使显微镜绕轴作任意位置旋转。
