激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
激光干涉仪的原理是建立在塞曼效应、牵引效应和多普勒效应的基础之上的。在全内腔He-Ne激光器上加约0.03T的轴向磁场，由于塞曼效应和牵引效应，发出一束含有两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光，它们的频率差大约是1.5MHz左右。这束光经1/4波片之后成为两个互相垂直的线偏振光，再经平行光管准直和扩束。从平行光管出来的这束光经过析光镜反射出一小部分作为参考光束通过45°放置的检偏器。并由马吕斯定律可知，两个垂直方向的线偏振光在45°方向上投影，形成新的线偏振光并产生拍频。这个拍频频率恰好等于激光器所发出的两个光频的差值即（f1-f2），约为1.5MHz。经光电元件接受进入前置放大器和计算机。
激光干涉仪的*性：
1、精度高
激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。
2、应用范围广
激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。
3、环境适应力强
即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点，激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机，也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。
4、实时动态测速高
现代的激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至于十几m/s，适于高速动态测量。
激光干涉仪的发明使激光干涉仪最终摆脱了计量室的束缚，更为广泛的应用于工业生产和科学研究中。
因此，对于激光干涉仪的研究有利于提高对该仪器的了解，以致于改进其性能，使其在计量方面有着更加广泛的应用，具有重大意义。
