等离子发射光谱用于元素成份及微量元素定性、定量分析。为全自动式，是光谱仪的产品。具有环形结构、温度高、电子密度高、惰性气氛等特点，用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等分析性能。ICP是用于原子发射光谱的主要光源。
从等离子体内部发出的从红外到真空紫外波段的电磁辐射谱。它带有量有关等离子体复杂的原子过程的信息。利用光谱学的原理和实验技术，并借助于等离子体的理论模型，测量分析等离子体光谱，对于等离子体的研究是有重要意义的。
等离子发射光谱优点：
1.因为ICP光源具有良好的原子化、激发和电离能力，所以它具有好的检出限。对于多数元素，其检出限一般为0.1～100ng/L。
2.因为ICP光源具有良好的稳定性，所以它具有好的精密度，当分析物含量不是很低即明显高于检出*时，其RSD一般可在1%以下，好时可在0.5%以下。
3.因为ICP等离子体发射光谱受样品基体的影响，所以参比样品无须进行严格的基体匹配，同时在一般情况下亦可不用内标，也不必采用添加剂，因此它具有良好的准确度。这是ICP光谱法主要的优点。
4.ICP等离子体发射光谱具有同时或顺序多元素测定能力，特别是固体成像检测器的开发和使用及全谱直读光谱仪的商品化更增强了它的多元素同时分析的能力。
5.由于ICP等离子体发射光谱在一般情况下无须进行基体匹配且分析校正曲线具有很宽的线性范围，所以它操作简便易于掌握，特别是对于液体样品的分析。
6.ICP等离子体发射光谱的分析校正曲线具有很宽的线性范围，在一般场合为5个数量级，好时可达6个数量级。 
