超声波扫描显微镜SAM是一种利用超声波为传播媒介的无损检测设备。通过发射高频超声波传递到样品内部，在经过两种不同材质之间界面时，由于不同材质的声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度的不同，进而采集的反射或者穿透的超声波能量信息或者相位信息的变化来检查样品内部出现的分层、裂缝或者空洞等缺陷。
1.超声频率：水浸超声扫描显微镜对于超声频率要求更高；一般高于10MHZ，而传统无损探伤仪器超声频率一般不超过5MHZ。
2.检测结果：水浸超声扫描显微镜扫描结果是材料内部呈像图片，便携式超声无损探伤仪器检测结果是超声波形。
3.检测精度：超声波频率越高检测精度越高，水浸超声扫描显微镜可根据检测图像精确分辨缺陷的不同类别：如虚焊、空洞、气泡、分层、夹渣、裂纹、空隙等不同缺陷，还可以判断出工件缺陷的位置、大小、尺寸、面积、占比、工件厚度等数据信息。检测精度可达微米级别。常见的便携超声探伤仪只能根据波形图判断缺陷的有无。
4.扫描模式：常见的便携式无损探伤仪只有A扫描。水浸超声扫描显微镜 C扫，B扫，T扫，Z扫，分焦距扫描，分频率扫描等多种方式
5.应用领域：常见的便携式超声探伤仪一般适用于大型尺寸的金属零部件缺陷检测，比如燃气管道、铁轨、甲板等。水浸超声扫描显微镜则适用于尺寸较小精密类型零部件。半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;材料行业：复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等研究等.塑料封装IC、晶片、PCB、LED
6.价格不同：常见的便携式超声探伤仪一般也就几万块，超声扫描显微镜则要几十万起步，进口品牌一般zui低配置还要百万打底。
优点
1.超声波显微镜的在失效分析中的优势非破坏性；
2.无损检测材料或IC芯片内部结构可分层扫描.多层扫描实施；
3.直观的图像及分析缺陷的测量及缺陷面积和数量统计可显示材料内部的三维图像；
