一、烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
二、应用原理:为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行,烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。
三、分类:
(1)推杆式烧结炉,是将压坯装于烧舟中或垫块上,用机械(或手动)传动,推进炉内进行烧结。根据推舟是连续的还是间歇的,这种炉子又分为连续推进式和间歇推进式两种。
(2)网带炉,网带炉由驱动装置,烧除区,烧结区,冷却区(水套冷却式),进、卸料装置,加热装置,各种配管及电气、测试装置组成。
(3)钟罩式加压烧结炉,用于生产粉末冶金摩擦片的专用烧结炉。在烧结中可施加压力,以使摩擦片快速、有效地与基板粘结。
(4)真空烧结炉内部通常是由加热部分和隔热保温两部分组成的烧结区。加热形式有电热元件(如碳管、碳棒)加热、中频感应加热两种。炉子的冷却采用水夹套冷却。为了加速冷却,可向炉内通入氢、氮、氩等气体。
四、烧结炉特点:
(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。
(2)具有气密性,即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。
(3)炉内的各段温度可控,烧结气氛可调。
(4)具有快速冷却装置,可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。