产品特点・将阀、基板、底座、管接头紧凑地一体化。
・创新的单元集装式。
・6mm宽的阀、安装V060系列。
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| 系列 | 形式 | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| VV061 | 标准 大流量 | 有效截面积：0.11mm2 有效截面积：0.21mm2 | 0.55（标准） 0.23（带节电回路） | －100kPa |
・1位上安装2个3通阀的紧凑型集装式。
・采用插口连接（插入式接口连接的场合）
・可与可单独配线的阀混装。
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| 系列 | 流量特性 2a/2b→3（E） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2a/2b→3（E） b | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| VV100 | 0.05 | 0.29 | 0.4（标准） 0.15（带节电回路） | －100kPa |
・消耗功率：0.1W（带节电回路）
・集装型号：VV100-S41
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| 系列 | 形式 | 流量特性 2→3 C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 b | 流量特性 2→3 Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| V100 | 标准 | 0.037 | 0.11 | 0.008 | 0.35（标准） 0.1（带节电回路） | －100kPa |
| V100 | 大流量 | 0.076 | 0.07 | 0.016 | 1 | －100kPa |
・禁铜规格。
・集装型号：SS3Y1
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| 系列 | 形式 | 有效截面积 | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| SY100 | 标准 大流量 | 0.14mm2 0.22mm2 | 0.5 | -100kPa |
产品特点・7mm宽小型电磁阀的集装规格。
・阀单体质量为5g
・可选择单体规格、底座配管型集装式、直接配管型集装式。
・集装型号：SS073
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| 系列 | 流量特性 C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 b | 流量特性 Cv | 消耗功率（W） | 最高动作压力：MPa |
|---|---|---|---|---|---|
| S070 | 0.042 0.060 0.042 0.060 0.021 0.042 | 0.27 0.28 0.27 0.28 0.27 0.28 | 0.011 0.016 0.011 0.016 0.006 0.011 | 0.5 0.5 0.35 0.35 0.1（带节电回路） 0.1（带节电回路） | 0.5 0.3 0.3 0.1 0.3 0.1 |
・具有高速且稳定的响应性。
・禁铜规格。
・拥有丰富的接线方式。
・可真空使用。
・集装型号：VV3Q11，VV3Q12
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| 系列 | 形式 | 流量特性 2→3 (2→1) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 (2→1) b | 流量特性 2→3 (2→1) Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VQ100 | 标准 大流量 | 0.083 0.14 | 0.28 0.25 | 0.021 0.036 | 1.0 0.5 (低功率型) | -100kPa |
・主阀结构上没有滑动密封，可订制禁油处理规格（非标品）。
同时也不向外部排气。
・具有高速且稳定的响应性。
・可真空使用。
・集装型号：VV4QD12，VV4QD15
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| 系列 | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | 气缸驱动 尺寸 | 消耗功率（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VQD1000 | 0.27 | 0.28 | 0.07 | φ25 | 2.0 |
产品特点・适合0603芯片。
・响应速度：13msec（500mm时※）/18.5msec（1000mm时※）。
・可实现无超调的平滑工件脱离。
・无需调节真空、正压的切换时点。
・不需要破坏空气的节流回路。
・真空过滤器：ZFC050（订制规格）。
※真空、破坏单元到工件的距离。
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・万向接口型。
・可与VK3000集装式混合安装能。
・可真空使用。
・集装型号：VV3K3
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| 系列 | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VK300 | 0.80 | 0.27 | 0.19 | 4 | －101.2kPa |
・功率低（2W DC 低功率型）
・0MPa的压力下即可使用。
・可与VK300混合安装。
・集装型号：VV3K3
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| 系列 | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VK3000 | 0.54 | 0.12 | 0.12 | 4.0 | φ25 |
产品特点・低消耗功率：1.8W。
・1个阀具有多种功能。
（多种接管形式）
・可对应低浓度臭氧。
橡胶材质：主阀部分采用HNBR。
・具有与以前产品的安装互换性。
・集装型号：VV307。
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| 系列 | 流量特性 2→3 (A→R) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 (A→R) b | 流量特性 2→3 (A→R) Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT307 | 0.71 | 0.25 | 0.17 | 4 (标准) 1.8 (低功率型) | -101.2kPa |
・直动式电磁阀。
・万向接口型。
・可真空使用。
・集装型号：VV317，VVT340，VVT341
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说明书
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| 系列 | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT317 | 2.6 | 0.34 | 0.67 | 6.0 | －101.2kPa |
| VT325 | 6.1 | 0.37 | 1.6 | 12 | －101.2kPa |
・万向接口型。
・可真空使用。
・集装型号：VVT320，VVT321
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说明书
| 系列 | 流量特性 2→1 (A→P) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→1 (A→P) b | 流量特性 2→1 (A→P) Cv | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT315 | 1.7 | 0.36 | 0.45 | 6～7 | -100kPa |
・直动式电磁阀。
・0MPa的压力下即可使用。
・主阀为金属密封构造。
・集装型号：VVS410，VVS411
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| 系列 | 流量特性 A/B→EA/EB C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 A/B→EA/EB b | 流量特性 A/B→EA/EB Cv | 气缸驱动 尺寸 | 消耗功率（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VS4□10 | 3.9 | 0.35 | 1.0 | φ80 | 5.5 |
・直动式电磁阀。
・主阀为金属密封构造。
・0MPa的压力下即可使用。
・可攻击不同的压力。
・集装型号：VVS310，VVS311
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说明书
| 系列 | 流量特性 A→E C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 A→E b | 流量特性 A→E Cv | 消耗功率（W） |
|---|---|---|---|---|
| VS3115 | 3.6 | 0.34 | 0.88 | 5.5 |
| VS3110 | 3.6 | 0.18 | 0.82 | 5.5 |
| VS3135 | 9.0 | 0.3 | 2.4 | 13.2 |
| VS3145 | 15 | 0.46 | 4.5 | 24.0 |
