冷镜式露点仪，使用二级半导体制冷片对镜面制冷。当被测气体中的水蒸气随着镜面温度逐渐降低而达到饱和，当镜面温度低于露点值时，凝结速度高于升华速度，露层增厚；反之露层减少。当水蒸气的凝结与升华速度平衡时，镜面温度即为露点温度。
镜面污染对露点测量有哪些影响？
在露点测量中，镜面污染是一个突出的问题，其影响主要表现在两个方面：一是拉乌尔效应，二是改变镜面本底散射水平。
拉乌尔效应是由水溶性物质造成的。如果被测气体中携带这种物质（一般是可溶性盐类）则镜面提前结露，使测量结果产生正偏差。若污染物是不溶于水的微粒，如灰尘等，则会增加本底的散射水平，从而使光电露点仪发生零点漂移。此外，一些沸点比水低的容易冷凝的物质（例如有机物）的蒸气，不言而喻将对露点的测量产生干扰。因此，无论任何一种类型的露点仪都应防止污染镜面。一般说来，工业流程气体分析污染的影响是比较严重的。但即使是在纯气的测量中镜面的污染亦会随时间增加而积累。为了消除污染的影响，人们摸索出各种各样的方法。直观的方法是对被测气体进行过滤。同时根据具体情况定期或随时清洗镜面。此外，通常采用的办法是在每次测量前对镜面进行加热，并通气吹除污染物。在污染比较明显的情况下也可以通过多次重复进行结露和消露过程来实现。为了消除易冷凝碳氢化合物的干扰，有人采用双镜面技术，在露点室中增设一个与露镜相连接的“干”镜面，其温度稍高于露镜，当气进入露点室时，“干”镜受到和露镜一样的污染，但却不会结露，从而提供补偿。
