本文导语
Supra/Supra+系列光电子能谱仪的水冷系统主要用于x射线源阳极靶，单色器晶体、涡轮分子泵、磁透镜、成像CCD等部件的冷却。
水冷机及连接仪器主机的冷却水路，如下图所示：
水冷机注意的事项
水冷机需要注意的是液位、水温、电导率、水压这几个方面。
液位低了需要及时补充去离子水。如果液位是短时间内降低的话就需要检查一下是否有漏水，尤其是各个水管的接头处。
水温通常设定在20摄氏度，如果出现温度不稳的情况，首先检查散热叶片上是否积聚了很多灰尘，清洁后还是不正常的话就需要联系工程师解决。
电导率要求小于1μS/cm，高了的话需要及时清洁并更换去离子树脂罐。
水压通常设定在0.4至0.5MPa左右，其大小可以通过水冷机内部的旁通阀调整，但要注意过高的水压设定会加重水泵的输出负担而影响其寿命。
上图为：两种型号的水冷机控制及显示界面
上图为：更换去离子树脂罐
水冷机与仪器的水路中间有一个滤芯，平时需要检查是否变质或者堵塞并及时更换。
在仪器待机情况下，只有MAG LENS气动水阀打开。
当使用Mono X射线枪时，增压泵打开，Mono XRAY GUN气动水阀打开，Magnetic lens flow必须大于1.2 L/min，Mono X-ray source flow必须大于设定的Min. water flow (l/min)数值，通常设定在4至5.5L/min之间，否则程序报错。
当使用双阳极X射线枪时，增压泵打开，Dual XRAY GUN气动水阀打开，Magnetic lens flow必须大于1.2 L/min，Achromatic X-ray source flow必须大于设定的Min. water flow (l/min)数值，通常设定2至2.5L/min之间，否则程序报错。
当仪器烘烤时，Magnetic lens气动水阀关闭，Main circuit flow必须大于1L/min，否则真空单元报错，烘烤程序终止。
内部水路维护的部件及位置
仪器内部水路需要维护的部件主要是水流传感器和限流孔。
当冷却水的异物堵塞在水流传感器或限流孔内部时，会造成水流异常并且报错。这时需要拆开水流传感器或限流孔检查清洁，甚至更换。当气路、电磁阀或气动水阀出现故障导致水流异常时，则需要对相应的部件进一步检查排除。
上图为：Supra的水流传感器及限流孔所在位置
上图为：Supra+的电磁阀、水流传感器、气动水阀、限流孔所在位置
限流孔堵塞了用牙签把异物挑出即可，切勿使用金属等硬物大力贯穿其中，容易造成限流孔变大从而导致其他回路水流变小。
