相对湿度发生器种类繁多，原理各异，这里我们将介绍其中两种的原理:
1、低霜点湿度发生器
低霜点湿度发生器是一种专门用于低湿度现场校准的设备，可以产生水蒸气含量低至ppm(即小于百万分之一)的气体。
与双温法类似，霜点相对湿度发生器制备已知湿度气体的过程是一个恒压变温的过程。干燥的气体首先流经热交换器，然后进入饱和器，换热器和饱和器都浸没在恒温液罐中。饱和器是一个螺旋金属线圈，管子的内表面覆盖着一层大约1毫米厚的薄冰。通过饱和器的气流距离冰面不超过4毫米。当流速为2L/分钟时，气体的平均传质时间约为7s。热交换后，干燥气流达到槽温，然后进入饱和器。因为使气流饱和所需的水蒸气量非常少，所以冰在管道中的升华不会导致冰面温度升高。
此外，由于盘管足够长，气体饱和过程已经在盘管前端完成，盘管的其余部分仅用于饱和气体zui后的热交换。通过饱和度冷凝器中的气体压力没有明显下降。饱和器出口处气体的温度与饱和器的温度相同或非常接近，所以这个温度可以看作是气流的霜点温度。
2、分流式相对湿度发生器
原理:干气源(通常是干燥空气)的气体按一定比例分成两部分。一部分进入饱和器S，饱和气流与混合室CM中的另一部分相同。干气混合后进入试验箱CT，排入大气。饱和器、混合室和试验箱浸没在同一个恒温槽中。试验箱中的相对湿度是以下因素的函数:
（1）通过饱和器的空气分数。
（2）饱和器中的总压力。
（3）饱和水蒸气压。
（4）试验箱中水蒸气的分压。
