在SF6气体抽真空装置压缩机的工艺管上连接干燥过滤器和单表三通低压阀A，简称表阀A。在冷凝器末端的干燥过滤器的工艺管上连接一个单表三通高压阀B。如果原制冷系统干燥过滤器为单孔无工艺管的，可在原干燥过滤器进气端加装焊一根针阀工艺管接头。当制冷维修工艺流程中的检漏、试压工序完毕后，进行抽真空。从表阀A 放出试压用的氮气，当表阀B的压力降至0.3MPa时，应关闭放气阀停止放气，启动压缩机，待表阀B的压力上升至1～1.5 MPa，表阀A的压力在0～0.1MPa之间，与制冷正常工作时的压力接近，将多余的气体从表阀B放出。如果检修前制冷系统管路已拆开，并长期暴露在空气中，则有必要延长压缩机的运行时间，利用其本身的热量将潮气排出；如果压缩机是新换的，没有经高温干燥处理过，则预热处理需反复多次，否则容易造成冰堵。如果检漏试压前，系统管路中还有剩余的制冷剂，抽压缩机不需专门预热处理，但必须用火焰在所有干燥过滤器的两个滤网之间进行初次快速干燥处理。干燥处理加热的温度大致控制在300℃左右，也就是让被加热的铜管表面无氧化层，或有微簿的氧化层，但擦去时会变为细粉状。压缩机和干燥过滤器经过快速干燥表阀处理后，打开高压阀B放出氮气，待表压由1 MPa以上逐渐降为0时，而表阀A的压力则慢慢降为负压，应暂时关闭表阀B，等表阀B的压力大于0时，再放出系统内气体。反复几次后，再将干燥过滤器快速干燥一次，再从表阀B排出系统内气体直至高压表阀B的压力不再高于零，或者在阀门打开时用手指堵在排气口上，无排气感觉；手指快速堵放排气口，表针无微微摆动现象。此时高压侧内部压力同外界气压平衡，还没达到制冷抽真空的要求，尚有少量残余气体。因此只有通过从低压工艺管充入气源，才能排出高压侧的残余气体。将低压表阀A接上氟瓶，排出软管中的空气，打开氟瓶阀，微开低压表阀A将低压侧的压力控制在0.1 MPa左右，待高压表阀B的压力上升到大于零时，打开高压表阀B放出系统中的余气，放气时间约为1～5秒钟，关上阀门，全部抽空工艺结束。接着进行充氟达标，焊封干燥过滤器的工艺管（非针阀式）。在停机几分钟后，待高、低压刚平衡（此时干燥过滤器的工艺管压力）时进行高压工艺管封口。再重开机，在运行状态焊封低压工艺管，最后检漏观察运行是否正常。全封闭压缩机制冷系统自身抽真空的实质是利用压缩机抽空制冷管路低压侧，再向低压侧管路充氟排空高压侧管路中的残留空气。
SF6抽真空装置操作注意事项：1、抽空和充氟工序中压缩机应一直为运行状态。2、排气过程中，当表阀A为负压后，表阀B排气压力为零时，应快速关闭表阀B，或用手指堵在排气口上继续排气，但放开气口时间不能太久，要防止外面的空气倒流。如果排气口用透明软管连接，另一头插入冷冻机油瓶中，利用气泡观察排气情况，看5分钟不冒气泡为标准；但须防止油被吸入排气管。禁止用水来观察排气。因为此时停机，可以明显看到两个表均为负压，具有一定程度的真空度。
如果将此抽空工艺称为：压缩机+充氟抽空法；那么还有压缩机+真空泵抽空法；压缩机+压缩机抽空法。这些单侧抽空方法的抽空时间大约需要1～2小时，若采用高低压双侧同时进行抽空则只需要20分钟左右。
方法三：另外根据大中型制冷设备压缩机带有高低压阀直接方便抽真空，可以在小型制冷设备全封闭压缩机的高压排气管至冷凝器之间添加一个最小规格的压缩机截止阀，使全封闭压缩机制冷系统也具备直接抽真空的功能。SF6气体抽真空装置具体方法是：购买一个三孔（四孔）的小规格压缩机截止阀和带纳子接头的束接头（尺寸大小应与截止阀通往压缩机的出气孔内径相符），将截止阀通往压缩机的出气孔攻丝使其与束接头的一端相连接，但拧入束接头时应注意不要挡住截止阀阀杆的移动；如无合适的丝锥也可直接进行焊接。然后按照下图所示连接即可。
