等离子体质谱ICP-MS的稳定性、灵活性和性能在质谱仪中，具有3种操作模式（标准、碰撞、反应），并且可以从一种模式快速切换到另一种模式。这样，就可以在同一台仪器上执行所有分析。它是一款可在不牺牲灵敏度或性能的情况下达到效率的电感耦合等离子质谱操作系统。它兼具碰撞池的简单便捷和真实反应池的检出限，是款具有该功能的质谱系统。
等离子体质谱ICP-MS的开、关机步骤：
ICP-MS仪器因厂商品牌的不同，其开机关机步骤略有不同。以PE的EIANDRCⅡ型ICP-MS为例。
（1）开机
①开抽风、氩气、冷却水循环机及主机稳压电源，用DRC时打开反应池所用气体；
②间隔2s打开仪器左侧主机电子系统的4个开关，开启机械泵及射频发生器；③打开ELANDRCⅡ软件；
④点击“Instruiment”打开仪器面板窗口，点击启动真空系统
⑤装上蠕动泵管，打开“Deviee”窗口，观察蠕动泵管的进样及排液是否正常运作；
⑥待真空达到要求后在面板窗口点击“Plasma”；
⑦Plasma点燃15min后，可以进行仪器日常性能检查。
（2）关机
①保持Plasma于“on'’的位置，用去离子水或溶剂冲洗系统5min；
②按下“Instrument”键并选择“FrontPane”l表；
③按下“PlasmaStop'’键关闭等离子体；
注意：在紧急状况下可直接按下位于质谱仪面板E的黄色按钮关闭仪器。
④将进样毛细管移开去离子水，待进样管内水分抽于后，释放蠕动泵管上的压力；
⑤在“File”键中选择“Exit”离开ELAN操作软件，若要离开WindowsXP系统，选择“Start”目录中之“ShutDown”；
注意：如果要进行间歇性的日常分析，关机时呵将真空系统置于待机状态，以便减少开机的时间和频率；若长时间不工作，需要全部关闭，增加步骤⑥～⑦。
⑥停止真空系统，间隔2s关闭仪器左侧主机电子系统的4个开关；
⑦关闭冷却水循环机、气体、主机稳压电源和抽风。
