水应满足离子和有机化学纯度检验的要求，并应能防止微生物污染。原水可以通过单元操作来净化，包括去离子、蒸馏、离子交换、反向透析、过滤或其他合适的净化方法。超纯水系统应经过验证，以便可靠、连续地生产和输送化学质量和微生物质量合格的水。在室温下运行的纯化水系统尤其受到微生物膜的影响，微生物膜是流出水中活微生物或内毒素的来源。因此，应经常对水系统进行消毒，并对微生物进行监测，以确保使用点的水的微生物质量符合要求。
超纯水系统的组成：
1、原水预处理:
原水储槽及液位控制，原水泵(一般一用一备)，预处理部分(石英砂用于去除颗粒和胶体，活性炭主要用于除氯，软化剂用于降低水中矿物质含量和钙镁离子)，安全过滤器(5UM)也有部分纯化水系统不加软化剂，纯化水系统的设计根据当地原水水质决定。
2、反渗透部分
3、电子脱盐部分
4、纯化水储罐、纯水泵、分配管道、不合格回流排放装置。
在超纯水系统的制备过程中，纯水电阻率的在线检测通常用来反映水中各种离子的浓度。一般来说，室温25℃时，纯化水的电阻率应不低于0.5MΩ。CM，注入水的电阻率应不小于1mω·CM。系统制备过程中需要多久测试一次电导率？
电导率的测试频率主要取决于对采出水水质的要求。不同的行业在生产过程中需要不同的水质。每月检测一次，饮用水标准每周检测一次，纯化水和注射用水标准的电导率每天都要检测，不至于因为水质问题影响整个行业的生产效果。但电导率的检测简单，耗时短，所以日常检测水的电导率不会对生产造成很大影响。
