化学机械抛光机是一种用于电子与通信技术、航空、航天科学技术领域的工艺试验仪器。它可提供多种抛光工艺来优化产品开发。包括广泛的速度范围、闭环加载力控制、多功能晶圆夹具和自动浆料输送系统。化学机械抛光机在抛光过程中可以监测多个在线信号。除了抛光晶片和基板外，该抛光机还配有在线三维形貌仪。这种组合提供了有关表面、摩擦和磨损如何变化的信息。
化学机械抛光机一般采用空气干燥，不要用机器烘干。吸油性：其切削力弱于羊毛切削力，不会留下旋纹，能有效去除中度的漆面缺陷。抛光盘底面具有自动粘贴功能，可以快速转换抛光轮。适用于车内普通漆、透明漆的磨光、抛光，一般用于毛料抛盘后抛光、打蜡。使用方法：温水洗净，挤去水份，置于洁净处晾干。请勿使用肥皂或清洁剂清洗，不可干洗或机洗，不要用梳毛刷或螺丝刀清洗海绵轮。兔毛抛盘：兔毛抛盘位于毛线抛盘与海绵抛盘之间，底部有自动粘贴，可用来清洁车身。
产品主要特色：
1、CMP抛光头：采用气囊加载模式，3区压力分区控制，可得到良好的工业级抛光效果；
2、自动上下片，自动抛光，干进干出；
3、抛光垫修整器：摆臂式设计，抛光垫分10区修整控制，可调整修整器下压力及每个区域的修整时间，可保证抛光垫高水平修整；
4、抛光垫修整器：具有在线修整与离线修整两种模式；
5、工艺数据可实时监测；
6、可存储多个Recipe；
7、带全自动手臂及自动双面清洗设备模块。
化学机械抛光机的技术指标：
1、采用去离子水粘贴硅片或采用真空吸附硅片进行抛光，摒弃传统的涂蜡粘贴硅片的方式，有利于抛光后硅片的清洗；
2、具备背压功能，能够显著提升抛光的均匀性；
3、具备抛光终点检测系统，防止过抛。
