探针台是一种成熟的工具,用于测试硅晶片、裸片和开放式微芯片上的电路和设备。它允许用户将电子、光学或射频探针放置在设备上,然后测试该设备对外部刺激(电子、光学或射频)的响应。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以更复杂,涉及复杂微电路的全功能测试。它的应用行业有许多,常见的包括半导体、光电以及集成电路等行业,半导体企业不仅有效促进了经济发展。主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境,并进行高精度的直流/射频测量。
可以在整个晶圆上或被锯成单个芯片后运行测试。整个晶圆级的测试允许制造商在整个生产过程的不同阶段多次测试设备,并密切监控制造以查看是否存在任何缺陷。在封装之前对单个芯片进行测试可以将有缺陷的器件从流通中移除,确保仅封装功能器件。在整个研发、产品开发和故障分析中都有很大的用途,工程师需要灵活而准确的工具来对设备的不同区域进行一系列测试。
探针台应放在坚固稳定的台面上,如地基有震动的情况,需要配置主动防震装置,避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用温度范围为5℃~40℃,湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。