一、干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。
二、工作原理：
(1)干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。
(2)测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比的。
三、应用领域：半导体晶片、液晶产品(CS,LGP,BIU)、微机电系统、光纤产品、数据存储盘(HDD,DVD,CD)、材料研究、精密加工表面、生物医学工程。
四、技术规格：
1.非接触式测量：避免物件受损。
2.三维表面测量：表面高度测量范围为1nm---200μm。
3.多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
