离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
离子溅射仪常见故障
故障现象：使用一段时间后，溅射电流变小
解决方法：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换，后者被油蒸汽污染，通过无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空。
故障现象：在使用一段时间以后，有着过低的真空。
解决方法：对溅射室中或管道内是否有油进行检查，能够使用汽油进行清洗。
故障现象：溅射电流不稳定忽高忽低
解决方法：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整。
故障现象：有着过低的真空
解决方法：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。
