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等离子体处理仪电源完整性电源有哪些注意事项?

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2022/12/28 14:54:50
  等离子体处理仪电源完整性应注意电容特性:
  在实际工作中,正确使用电容进行电源退耦,必须了解电容的频率特性。实际上并没有理想的电容,这就是为什么人们常常听到“电容不仅仅是电容”。实用型电容器总有一些寄生参数,它们在低频时表现得不明显,但在高频时,它们的重要性可能超过了容值本身。由磁场能量变化的视点可以很容易理解,当电流发生变化时,磁场能量也会发生变化,但能量跃升是不可能的,体现了电感的特性。寄生电感可延迟电容电流的改变,增加电感可增加电容充放电阻抗,延长了电源完整性反应时间。当频率高于谐振频率时,自共振频率点是区分电容与谐振的兼容性还是感性分界点,“电容不再是电容”因此退耦效果会降低。与等效串联电感相关的电容与生产工艺流程、封装规模有关,通常小封装的等效串联电感较低,宽体封装的等效串联电感较窄体封装的高。将一些大的电容放在电路板上,一般是坦电容或电解电容。这种电容具有很低的ESL,但ESR很高,因此Q值很低,实用频率范围很宽,非常适用于板级电源滤波。质量因数越高,电路在电感或电容上的电压就越高,附加电压就越多。在一定频偏下,Q值越高,电流衰减越快,谐振曲线越尖锐。换句话说,电路的挑选性是由电路的Q元素决定的,电源完整性Q值越高,挑选性越好。
  等离子体处理仪电源完整性部分的解耦规划方法为了保证逻辑电路正常工作,有必要表示电路逻辑状态的电平值以一定的比例下降。例如,对于3.3V逻辑,高电压大于2V是逻辑1,低电压小于0.8V是逻辑0。将电容置于邻近器件上,并跨接于电源插头与地插头之间。一般情况下,电容充电,储存部分电量。等离子体处理仪电源功率整流器不需要VCC来供给电路转换所需的瞬态电流,电容相当于一小块电源。因此,等离子体处理仪电源和地端的寄生电感都被绕道掉了,在这一段时间内,寄生电感没有电流流过,因此也不存在感应电压。通常将两个或多个电容平行放置,以减小电容本身的串联电感,从而降低电容充放电回路的阻抗。注意:电容的放置,设备间隔,设备方式,电容选择。

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