技术文章

FTIR傅里叶红外在硅材料分析中的应用

上海尔迪仪器科技有限公司 >> 进入商铺

2023/1/5 11:48:08

FTIR傅里叶红外在硅材料分析中的应用

用于超高灵敏度硅材料质量控制分析的分析仪

CryoSAS 是一款低温硅材料分析仪,可用于太阳 能和电子硅行业的超高灵敏度质量控制。它可以同时定量分析碳、氧以及浅层杂质(如硼、磷、砷等)。

根据ASTM/SEMI标 准,CryoSAS操作简便,无需液氦等制冷剂。相比于传统的湿 化学分析法,CryoSAS更为快速、灵敏,并且对样品没有任何 损害。

用于硅材料质量控制的低温光致发光实验

根据ASTM/SEMI MF1389标准,低温近红外光致发光(PL)实验可以用于单晶硅中浅层杂质(如硼、磷等)的定量分析。

我们将高灵敏度VERTEX 80 傅立叶变换光谱仪和专为硅材料低温光致发光实验 设计的低温恒温器相结合,实现了低检出限小于1ppta的超高检出水平。

 

相关产品

猜你喜欢

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :