本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。
行业
半导体制造工序（后工序）
产品特点：
【提高性能，追加产品种类】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加压力种类 -100kPa（负压）、200kPa（中压）、900kPa（高压）
【小型】
30×39×57.1（宽×高×长）。
小型、轻量，有助于装置的小型化。
【高精度】
通过电气信号，高精度、高速响应地控制流体压力。
重复性：0.3%F.S.
分辨率：0.1%F.S.
响应时间：0.1sec（无负荷）
【动作状态采用双色进行显示】
采用双色显示动作指示器，设定压力时，显示为绿色，设定以外与错误时，显示为红色。
【配管、配线作业简单】
空气配管：采用快插接头，电气配线：采用M12接头，配管、配线作业简单。
| 型号 | 名称 | 压力控制范围(MPa) | 配管口径(Φ） | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| EVS2-100 | PARECT 电空减压阀 | 0.001～0.1 | 4, 6 | |
| EVS2-500 | PARECT 电空减压阀 | 0.005～0.5MPa | 4, 6 | |
| EVS2-10V | PARECT电空减压阀 | -0.0053～-0.0912 | 4,６ | |
| EVS2-200 | PARECT电空减压阀 | 0.002～0.2 | 4,６ | |
| EVS2-900 | PARECT 电空减压阀 | 0.009～0.9 | 4,６ |
