低温过氧化氢等离子灭菌器主要功能为确保过氧化氢能够汽化并扩散到器械表面，并将残留过氧化氢分解。灭菌依靠过氧化氢的氧化能力，破坏细胞壁和细胞内部的蛋白质，达到灭菌的功能。因此，灭菌是否合格主要决定于过氧化氢是否与器械表面的细菌接触。一旦接触，会一直作用，最终将细菌杀灭。
如果在实验过程中，灭菌失败，造成过氧化氢灭菌失失败的原因是什么呢？该怎么在实验过程中减少灭菌呢？
器械清洁不干净：器械上有血迹及其他杂质存在，其中的无机物和有机物蛋白质类污染物影响低温等离子灭菌器的灭菌效果。
器械汽化干燥不够：器械潮湿会使水分集聚到灭菌器的真空泵内，导致抽真空过程受阻，灭菌程序中断。装前检查待灭菌物品的清洁度和干燥程度
灭菌时器械装载不当：器械重叠过多，器械过长，接触舱壁门，影响灭菌效果。装好器械的消毒包装袋应逐个、单层平放，不可重叠，金属器械不能与灭菌舱侧壁接触，距灭菌室内壁的间距宜5cm以上，灭菌物品最大放入量以高频电刀导线10根为宜。
包装不当：器械潮湿会使水分集聚到灭菌器的真空泵内，导致抽真空过程受阻，灭菌程序中断，装前检查待灭菌物品的清洁度和干燥程度。用专用消毒包装袋单个密封包装。或放入专用灭菌器械盒内，用双层无纺布包裹。
灭菌系统的自身因素：由于仪器自身系统发生故障致灭菌失败。灭菌前检查设备性能是否良好，设置最佳灭菌运行程序。灭菌过程中认真观察监测屏显示的温度及机器运转状况，遇有故障停止灭菌进行处理。灭菌后检查包外指示胶带及化学监测卡是否合格。
指示卡不变色：若放指示卡时将其紧贴在包装袋的塑面，在灭菌过程中过氧化氢不能通过指示卡，则指示卡不变色，或指示卡在空气中放置时间太长，虽在有效期内但已被氧化则灭菌后也不变色，应将指示卡避光保存防止氧化，使用时用小镊轻轻夹取，放于包装袋内防止手迹污染。过氧化氢液质量不合格或过期：应使用取得卫生许可的专用过氧化氢灭菌剂，室温避光阴凉处存放。工作人员应及时更换过氧化氢液，并在锅的旁边标明更换日期。
