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蓝宝石压力传感器为啥可以耐高温?

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2023/2/7 14:57:06

-蓝宝石是一种测量技术,它是一种应用于测量中的传感器。蓝宝石是一种没有滞后、疲劳和蠕变的单晶绝缘子;坚韧,不惧变形;蓝宝石具有很好的弹性和绝缘性能(在1000摄氏度以下)。

采用硅-蓝宝石制作的半导体敏感器件,对环境的影响较小,即使是在较高的环境中,其灵敏度也很低。良好的工作性能;蓝宝石具有非常高的抗辐照性能;此外,没有p-n漂移的硅-蓝宝石半导体敏感器件。从而,生产过程得到了基本的简化,重复的增加,并保证了高的产量。采用硅-蓝宝石半导体感测元件,可在最严酷的工作环境中使用。经常工作,可靠性高,精度高,温度误差小,性价比高。

至于为什么蓝宝石压力传感器可以耐高温,主要是因为以下几个方面:

 A、选材    蓝宝石是单晶体铝氧化物,是所有氧化物晶体中最硬的,是理想的绝缘体。它具有十分优良的耐高温化学惰性、电敏感性和绝缘性。蓝宝石利用自身原子外延的方式,形成纯净的单晶结构。由于在1000℃的温度范围内,蓝宝石是理想的绝缘体。因此,硅电阻敏感电桥电路的压敏电阻即使在最高温度下,也不会发生短路。

 

 B、工艺措施    为适应高温条件下的使用,不采用金丝作为电路触点,因为金丝在200℃的温度下,会同硅形成易熔质,所有硅接点都采用铝制。同时,在500℃的范围内,硅(选用很强的合金硅)并不改变自身的弹性特点。将蓝宝石熔焊在钛合金上,必须在850℃左右的温度范围下进行,这就使得钛合金在高温状态下依然具有很好的工作特性。因此,所有使用SOS(蓝宝石上的硅)结构制成的传感器可以在不高于350℃(敏感元件在此温度也是如此)和500℃的温度条件下工作。

 

C、从结构上考虑    使用双耐高温钛合金膜片和硬杆连接传感器时,传感器内部硅-蓝宝石敏感元件处于低温区,大大低于介质温度。所以使钛/-蓝宝石传感器可以适应高温环境条件下工作。


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