目前，扫描电镜实验室认证和认可已有许多标准文件可供执行，按分析测试的目的可有以下几类，现分别列举如下:
(1)常用的与扫描电镜测长直接有关的标准有以下几个：
根据计量器具的实际使用情况，本着科学、经济和量值准确的原则确定非强检计量器具检定或校准周期。应注意的几个方面：
● 微米级长度的扫描电镜测量方法（GB/T16594-94)
● 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法(GB/T 12334-2001)
● 纳米级长度的扫描电镜测量方法(国家标准讨论稿)
(2）常用的与扫描电镜检定规程有关的标准有以下一些，主要用于扫描电镜的检定，包括分辩力的检验和放大倍率的校验。
● 扫描电子显微镜试行检定规程(JJG 550-88)
● 分析型扫描电子显微镜检定规程（JJG 011—1996)
● 电子探针分析仪的检测方法(GB/T 15075-94)
● 微束分析一扫描电镜一图像放大倍率校准导则
(3）常用的与扫描电镜分析测试应用有关的标准有以下一些，其中，如山羊绒、绵羊毛及其混合纤维定量分析方法和沉积岩中自生粘土矿物扫描电子显微镜及X射线能谱鉴定方法等在实际使用中收到了良好的效果。
● 山羊绒、绵羊毛及其混合纤维定量分析方法（GB/T#14593-93)
● 黄金制品镀层成分的X射线能谱测量方法（GB/T#17723-99)
● 沉积岩中自生粘土矿物扫描电子显微镜及X射线能谱鉴定方法(GB/T#17361-98)
● 黄金饰品的扫描电镜X射线能谱分析方法(GB/T#17632-98)
(4）常用的与扫描电镜分析间接有关的标准有:
严格来说，每个配X射线能谱仪的扫描电镜实验室，都应在不同程度上掌握上述标准，或应严格执行这些标准。
