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半导体行业真空室内被处理物体的温度如何检测?

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2023/3/6 15:38:50

半导体行业真空室内被处理物体的温度如何检测?

用于测量真空室内被处理物体的温度。

透过窗户测量的图像

通过窗口测量真空层或容器内的物体。

选型要点

Japan Sensor 产品提供范围广泛的测量距离和目标尺寸。
我们拥有适用于各种应用的产品阵容,例如最大 0.1ms 的高速响应和 0°C 至 1350°C 和 90°C 至 2000°C 等宽范围测量。

所选机型

  • 在恶劣环境和狭小空间也能自由使用的1ms光纤型
    半阶型

    光纤式辐射温度计FTKX系列

    测量温度范围:100°C至2000°C

    • 纤维型(耐热磁场)

    • 高温

    • 用于通过石英

    • 0.1ms/1ms快速响应

    • 用于金属

  • 1ms 辐射温度计,规格可根据测量对象改变

    无纤维辐射温度计 FLHX 系列

    测量温度范围:90°C 至 2000°C

    • 高温

    • 用于通过石英

    • 0.1ms/1ms快速响应

    • 用于金属

  • 金属的高速测温

    金属用辐射温度计
    TMHX-TME0050(H)系列

    测量温度范围:50°C至600°C

    • 用于金属

    • 低温

    • 用于通过石英

  • 金属的高速测温

    金属用辐射温度计
    TMHX-TME0050(E)系列
    小头型

    测量温度范围:50°C至600°C

    • 用于金属

    • 低温

    • 用于通过石英

  • 甚至可以透过石英玻璃!

    穿透式石英辐射温度计
    TMHX-CQE0500(H)系列
    小点型

    测量温度范围:50°C 至 500°C

    • 用于通过石英

    • 低温

  • 甚至可以透过石英玻璃!

    穿透式石英辐射温度计
    TMHX-CQE0500(E)系列
    小头型

    测量温度范围:50°C 至 500°C

    • 用于通过石英

    • 低温




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