过氧化氢结合低温等离子可以生成大量活性氧自由基和负离子，直接作用于细胞膜的不饱和脂肪酸，通过氧化反应，破坏细胞膜组织，实现对细菌和真菌的杀灭。活性氧自由基也会氧化RNA和DNA，进而使其断裂，变异，热稳定性改变，使其失去繁殖能力，消除病原体，这种方式从根本上解决了病菌耐药性对消杀产生的影响。
过氧化氢灭菌作为洁净区空间灭菌的一种主要方式，已经在国外发展应用长达数十年，过氧化氢灭菌作为替代甲醛空间大环境灭菌得到了飞速发展，在实验室、制药企业、科研院所、医院、动物房等领域已经逐步推广，过氧化氢灭菌分为汽化、雾化和干雾过氧化氢灭菌，那么他们有怎样的区别呢？
过氧化氢空间消毒方式包括以下几种：
1、汽化过氧化氢
VHP（Vaporized Hydrogen Peroxide）n.蒸汽化的过氧化氢，而非气化过氧化氢。是通过加热原理，将35%浓度的过氧化氢进行蒸汽化处理，配合风机，进行传送，是应用近50年的一项老技术。初期应用于隔离器传递舱，后应用于环境消毒。
大空间如无菌制剂车间等运用效果不佳，气态过氧化氢是通过空间内的过氧化氢浓度差来扩散的，均匀性不好，腐蚀性较高，在使用过程中会出现使彩钢板脱皮，金属设备、监控仪器腐蚀等问题，从而导致器材损坏，因为汽化过氧化氢灭菌设备需要使用高浓度过氧化氢。且设备价格高昂，其使用范围需为可密闭空间并且范围较小。
2、雾化过氧化氢
雾化过氧化氢是用设备将过氧化氢液体通过粉碎喷射的手段进行雾化，达到空气和环境消毒的作用，相较于汽化过氧化氢消毒而言其范围增加，并且过氧化氢溶液浓度降低，有效的节省时间和成本。
3、干雾过氧化氢
上海干雾过氧化氢是在雾化过氧化氢基础上的提升，雾化颗粒更小，扩散范围更广，并且过氧化氢浓度大幅度降低（5%-8%），不腐蚀设备和彩钢板。干雾灭菌设备是利用文丘里原理，是使用告诉旋转的文丘里泵压缩空气将过氧化氢溶液溅射出去，迅速将低于10微米的干雾颗粒输送至远端扩散至整个空间，从而实现高效灭菌。因此干雾的这些性质使得其扩散性非常好，消毒时不留死角，不湿润表面。
