非接触式光学轮廓仪CCI HD
白光干预仪/非接触式轮廓仪引见：
CCI HD 是一种非接触式光学 3D 轮廓仪，具有丈量薄膜和厚膜的功用。 它采用享有**的新型关联算法，来查找由我们的精细光学扫描安装产生的干预图的相干峰和相位。 这种新型的 CCI HD 整合了世界**的非接触式尺寸丈量功用和先进的厚薄膜丈量技术。
CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度丈量功用，还能够提供两品种型的膜厚丈量。 近年来厚膜剖析被用于研讨厚度至约 1.5 微米的半透明涂料；丈量的厚度限制取决于资料的折射率和标的物的 NA。 丈量较薄的涂层被证明尴尬度更高。如今经过干预丈量法能够研讨厚度至 50 纳米（同样取决于折射率）的薄膜涂层。 采用这种新型办法，能够在单次丈量中研讨膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷以及薄涂层外表的剥离等特性。
